XDS100B渦旋式真空泵

合肥凱曠

 

概述

XDS100B 是滾軸增壓泵,具備專門針對高抽速用途的泵送機械裝置。與所有增壓泵一樣,它需要與主泵一同使用,非常適合與 Edwards XDS35i 或 XDS46i 滾軸泵搭配。當入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時,XDS100B 針對最大抽速進行了優化,因此非常適合超高吞吐量的 LCMS 應用。先進的泵設計使得末端密封磨損幾乎消失,也就減少了維修干預,盡可能延長正常運行時間。
變換器驅動允許泵連接到單相電源,控制著電機的特性,確保泵總是以優化速度運行,并使用戶可以對泵進行遠程控制。

技術

滾軸泵利用相互交錯的固定和軌道滾軸來產生非接觸式新月形氣泡,并通過軌道運行不斷對其進行壓縮。這意味著,與油密封旋轉泵不同,在泵移動量中不需要密封劑或潤滑劑

 

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特點優勢

真空外殼中不需要使用潤滑劑,完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時間更長
無需更換潤滑油,也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用
簡單的單側滾軸設計意味著維護工作可在數分鐘內完成,降低運行成本,盡可能延長正常運行時間
變換器驅動可使抽速穩定維持在 50/60Hz

技術參數

抽速

50?或?60Hz

95?m3h-1/56?ft3min-1

極限真空(總壓力)*

<1?x?10-2?mbar?/?<8?x?10-3?Torr

最大連續進氣口壓力

20?mbar/15?Torr

最大連續出口壓力

60?mbar?/?45?Torr

短時內進氣口處的最大允許壓力

0.5?bar?表壓/7?psig

要從大氣抽空的最大真空腔體積

100?升

用于循環負載的最大真空腔體積?–?最大為每小時?6

50?升

電機功率

0.52?kW

標稱轉速

1750?rpm

重量

48?kg/105?lb

入口法蘭

NW40

排氣口法蘭

NW40

噪音級別

52.1?dB(A)

振動

<4.5mms?-1?(rms)

密封性(靜態)

<1?x?10-6?mbar?ls-1

工作溫度范圍

10?至?40?°C/50?至?104?°F

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